[实用新型]一种硅片承载结构

摘要

一种硅片承载结构，由两边的侧板以及设置在两边侧板之间的侧杆和底杆组成，所述的侧杆和底杆的两端分别连接侧板的内周侧，侧杆在侧板之间相对设置，底杆设置在侧杆的一侧，与底杆相对的另一侧为开口，形成承载盒状结构；侧杆和底杆上朝向承载盒状结构内侧的方向上设置有数量、间隔相同的齿形结构，所述的齿形结构为菱形台状。该硅片承载结构采用菱形台状齿形结构可以大大减少承载结构与硅片的接触面积，大幅度减少硅片在烘干等加工过程中硅片表面所产生的花篮印、水痕印等印迹，同时可加快烘干效率，节约生产成本；菱形台状齿形结构的体积较小，便于大型号硅片的自动化插片，减少划伤，减少返工和降级产品，提高生产质量；具有良好的承载稳定性。