[实用新型]一种用于外延膜生长设备的监控报警装置有效
| 申请号： | 202022714576.8 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN212182284U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王会会;林保璋;黄中山;金補哲 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢绪宁 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种用于外延膜生长设备的监控报警装置，其包括与旋转基座连接的检测圆盘，检测圆盘偏心设置有至少一处的检测部；检测圆盘旁设置有检测传感器，检测传感器连接有定时器，定时器控制连接有报警器，检测传感器向定时器发送复位信号，定时器接收复位信号后复位，并于设定时间后驱动报警器报警；若旋转基座停止转动，则检测圆盘停止转动而不会经过检测传感器，使检测传感器无法向定时器发送复位信号，导致定时器驱动报警器报警,实现了监控基座的旋转，避免因为基座停止旋转而产生产品的报废，提升良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 生长 设备 监控 报警装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司，未经盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022714576.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种游梁式抽油机用锁销式刹车保险装置
- 下一篇：一种便捷式水性涂料混合釜
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
