[实用新型]一种用于外延膜生长设备的监控报警装置

说明书

本申请涉及一种用于外延膜生长设备的监控报警装置，其包括与旋转基座连接的检测圆盘，检测圆盘偏心设置有至少一处的检测部；检测圆盘旁设置有检测传感器，检测传感器连接有定时器，定时器控制连接有报警器，检测传感器向定时器发送复位信号，定时器接收复位信号后复位，并于设定时间后驱动报警器报警；若旋转基座停止转动，则检测圆盘停止转动而不会经过检测传感器，使检测传感器无法向定时器发送复位信号，导致定时器驱动报警器报警,实现了监控基座的旋转，避免因为基座停止旋转而产生产品的报废，提升良品率。

技术领域

本申请涉及外延片设备的领域，尤其是涉及一种用于外延膜生长设备的监控报警装置。

背景技术

外延是半导体工艺当中的一种。在bipolar工艺中，硅片最底层是P型衬底硅，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层。外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。

现有生产外延片的设备具有放置外延片并旋转的旋转基座，设备内设有提供旋转的驱动件，驱动件通过齿轮驱动放置外延片的旋转基座，在生产外延片时，旋转基座带着外延片旋转，若是在生产过程中旋转基座停止旋转，则会导致外延片的报废。

针对上述中的相关技术，发明人认为现有的技术没有针对旋转基座旋转的监控装置，旋转基座发生故障而无法旋转后，不能及时地知晓并维修，会导致很多产品的报废，良品率有待提升。

发明内容

为了监控旋转基座的旋转，提升良品率，本申请提供一种用于外延膜生长设备的监控报警装置。

本申请提供的一种用于外延膜生长设备的监控报警装置采用如下的技术方案：

一种用于外延膜生长设备的监控报警装置，包括与旋转基座传动连接的检测圆盘，检测圆盘偏心设置有至少一处的检测部。

检测圆盘旁设置有检测传感器，检测传感器受控连接有定时器，定时器控制连接有报警器，检测传感器响应于检测部经过而向定时器发送复位信号，定时器接收复位信号后复位，并于设定时间后驱动报警器报警。

通过采用上述技术方案，旋转基座动作后，会带动检测圆盘转动，检测圆盘上的检测部也会随动，检测部会在设定路径上移动，当检测部经过检测传感器时，检测传感器向定时器发送复位信号从而阻止报警，若是旋转基座停止转动，则检测圆盘与检测部也会停止转动而不会经过检测传感器，使检测传感器无法向定时器发送复位信号，导致定时器驱动报警器报警,实现了监控旋转基座的旋转，提升良品率。

优选的，旋转基座具有与驱动件传动连接的旋转齿轮，旋转齿轮与检测圆盘共轴心线固定连接。

通过采用上述技术方案，使用旋转齿轮，可以避免旋转基座与检测圆盘之间传动产生打滑现象，保证了传动的可靠性以及检测结果的稳定性。

优选的，所述检测部包括设于所述检测圆盘周缘处的光栅，所述检测传感器设为光电传感器，所述光栅的一侧设有光源，所述检测传感器位于所述光栅的另一侧用于接收经过所述光栅的光线；

所述检测传感器接收到设定次数的光线后发出复位信号。

通过采用上述技术方案，当光栅经过光电传感器后，光电传感器接收到的光线会变化一次，实现一次光线的接收，检测传感器接收到设定次数的光线后发出复位信号，从而阻止报警，若是旋转基座停止转动，则光栅不会经过光电传感器，使光电传感器无法向定时器发送复位信号，导致定时器驱动报警器报警,实现了监控旋转基座的旋转，提升良品率。

优选的，所述光源与所述光栅之间设置有放大镜。

通过采用上述技术方案，放大镜使经过的光线照射的范围更大，利于光电传感器对光线的捕捉。