[实用新型]一种用于外延膜生长设备的监控报警装置

权利要求书

1.一种用于外延膜生长设备的监控报警装置，外延膜生长设备内设有提供旋转的驱动件，驱动件驱动放置外延片的旋转基座，其特征在于：包括与旋转基座传动连接的检测圆盘（1），所述检测圆盘（1）偏心设置有至少一处的检测部（2）；

检测圆盘（1）旁设置有检测传感器（4），检测传感器（4）连接有定时器，定时器控制连接有报警器，检测传感器（4）用于向定时器发送复位信号，定时器接收复位信号后复位，并于设定时间后驱动报警器报警。

2.根据权利要求1所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：旋转基座具有与驱动件传动连接的旋转齿轮（3），所述旋转齿轮（3）与所述检测圆盘（1）共轴心线固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：所述检测部（2）包括设于所述检测圆盘（1）周缘处的光栅，所述检测传感器（4）设为光电传感器，所述光栅的一侧设有光源（5），所述检测传感器（4）位于所述光栅的另一侧用于接收经过所述光栅的光线；

所述检测传感器（4）接收到设定次数的光线后发出复位信号。

4.根据权利要求3所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：所述光源（5）与所述光栅之间设置有放大镜（6）。

5.根据权利要求4所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：所述光栅与所述光电传感器之间设置有透光遮片（7），所述透光遮片（7）的中间部位设置有对准所述光电传感器的透光缝隙，所述光栅上的栅孔经过所述透光缝隙时与所述透光缝隙对准，所述透光遮片（7）遮挡已对准的所述栅孔旁的其它栅孔。

6.根据权利要求1所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：检测部（2）包括检测圆盘（1）周缘处的凹槽，检测传感器（4）设为朝向所述凹槽的光电传感器，所述凹槽内壁的颜色与所述检测圆盘（1）的颜色不同，所述光电传感器照射所述凹槽内壁产生的信号异于所述光电传感器照射所述凹槽外部位产生的信号；检测传感器（4）测到凹槽时发出复位信号。

7.根据权利要求2所述的用于外延膜生长设备的监控报警装置，其特征在于：检测部（2）包括与旋转齿轮（3）共轴心线的检测齿轮，检测传感器（4）设为与检测圆盘（1）平行且咬合连接的光电传感器；检测传感器（4）测得检测齿轮转过设定弧度后发出复位信号。