[实用新型]一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装有效
| 申请号： | 202022714343.8 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213680870U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;曲迪 | 申请（专利权）人： | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300456 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装，属于磁控溅射设备技术领域，其特征在于，至少包括：长度为a的水平板；固定于水平板一端的左侧翘板；固定于水平板另一端的右侧翘板；其中：所述左侧翘板和右侧翘板的长度均为b；且所述左侧翘板和右侧翘板位于水平板的同一侧，三者为共面关系，所述左侧翘板和水平板之间的夹角为135度，所述右侧翘板和水平板之间的夹角为135度；在所述左侧翘板和右侧翘板的中心分别开设有一个4mm直径的螺丝孔，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为一体成型结构，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为不锈钢制成。通过采用上述技术方案，本实用新型具有固定不同高度样品的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 备用 样品 固定 辅助 工装 | ||
【主权项】：
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