[实用新型]一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装有效
| 申请号： | 202022714343.8 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN213680870U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;曲迪 | 申请（专利权）人： | 华慧科锐（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300456 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 备用 样品 固定 辅助 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装；其特征在于，至少包括：
长度为a的水平板；
固定于水平板一端的左侧翘板；
固定于水平板另一端的右侧翘板；其中：
所述左侧翘板和右侧翘板的长度均为b；且所述左侧翘板和右侧翘板位于水平板的同一侧，三者为共面关系，所述左侧翘板和水平板之间的夹角为135度，所述右侧翘板和水平板之间的夹角为135度；
在所述左侧翘板和右侧翘板的中心分别开设有一个4mm直径的螺丝孔。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备用样品固定辅助工装，其特征在于，a等于21mm，b等于9.9cm。
3.根据权利要求1或2所述的磁控溅射设备用样品固定辅助工装，其特征在于，所述水平板的厚度和宽度依次为1.5mm、7mm。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射设备用样品固定辅助工装，其特征在于，所述左侧翘板和右侧翘板的厚度和宽度依次为1.06mm、7mm。
5.根据权利要求4所述的磁控溅射设备用样品固定辅助工装，其特征在于，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为一体成型结构。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射设备用样品固定辅助工装，其特征在于，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为不锈钢制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华慧科锐（天津）科技有限公司，未经华慧科锐（天津）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022714343.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：网框打磨机
- 下一篇：一种三轴数控焊枪调节装置
- 同类专利
- 专利分类
