[实用新型]一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置有效
| 申请号： | 202022693443.7 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN213596377U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王彬;张彬彬 | 申请（专利权）人： | 天津维普泰克科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 姜宇 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆表面薄膜制备设备技术领域，公开了一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，包括平台、平面密封板和管路，平台上固定平面密封板，平面密封板上设置有沟槽，沟槽的形状与穹顶的边缘形状相匹配，平台及平面密封板位于沟槽内侧的部分开设有气孔，平台的下方设置管路，管路与气孔连通；该用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置可以对穹顶的气密性进行检测，简化了穹顶的安装过程，提高了安装效率，节约了时间和人力；各支腿均为可升降结构，使平台可以自动升降，实现了平台将穹顶稳定地送至外罩的位置，省去了人工托举的过程，提高了穹顶安装的成功率，节约了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 制备 穹顶 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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