[实用新型]一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置

权利要求书

1.一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，包括平台、平面密封板和管路，所述平台上固定所述平面密封板，所述平面密封板上设置有沟槽，所述沟槽的形状与穹顶的边缘形状相匹配，所述平台及平面密封板位于所述沟槽内侧的部分开设有气孔，所述平台的下方设置所述管路，所述管路与所述气孔连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，所述管路包括两条分路，两条所述分路分别用于连接气泵和外部真空源或气源。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，所述平台的下方连接有若干支腿。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，各所述支腿均为可升降结构，其中至少一个所述支腿为主动升降支腿，其余所述支腿为被动升降支腿。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，所述主动升降支腿包括马达和丝杠，所述马达的输出轴与所述丝杠固定连接，所述平台的底部固定连接有螺纹筒，所述丝杠与所述螺纹筒螺纹连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，所述主动升降支腿包括气缸或电动缸，所述气缸或电动缸的输出轴与所述平台的底部固定连接。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，所述支腿下方安装有脚轮。

8.根据权利要求3至6中任一项所述的一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，其特征在于，相邻的所述支腿之间固定连接有若干横梁。