[实用新型]一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置

说明书

本实用新型涉及晶圆表面薄膜制备设备技术领域，公开了一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，包括平台、平面密封板和管路，平台上固定平面密封板，平面密封板上设置有沟槽，沟槽的形状与穹顶的边缘形状相匹配，平台及平面密封板位于沟槽内侧的部分开设有气孔，平台的下方设置管路，管路与气孔连通；该用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置可以对穹顶的气密性进行检测，简化了穹顶的安装过程，提高了安装效率，节约了时间和人力；各支腿均为可升降结构，使平台可以自动升降，实现了平台将穹顶稳定地送至外罩的位置，省去了人工托举的过程，提高了穹顶安装的成功率，节约了人力。

技术领域

本实用新型涉及晶圆表面薄膜制备设备技术领域，具体涉及一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置。

背景技术

在晶圆的制造过程中，为使晶圆具有良好的电路性能，需要在其表面制备一层薄膜，薄膜的制备过程需要在专用的工艺腔体中进行，将晶圆置于密封的工艺腔体中，在其中充入相关气体，并经过一系列反应后，在晶圆表面形成一层薄膜。该工艺腔体包括穹顶和外罩，使用时，穹顶安装于外罩内。现有技术中，需要先将穹顶上的各种部件安装好，然后再将穹顶与外罩进行连接安装，接着对穹顶内部的气密性进行检测，若气密性不满足要求，则卸下穹顶，将穹顶上的各种部件重新安装，重复上述过程，直到穹顶位置正确地与外罩安装连接，并且气密性满足反应要求，该过程极为繁琐、复杂，耗费时间和人力较多，存在改进的空间。

另外，将穹顶安装到外罩内部的时候，通常是利用人工将穹顶托举到外罩的位置，然后将穹顶与外罩连接，由于穹顶的质量较大，这种安装方式十分耗费人力，另外由于人工托举时穹顶的位置不稳定，穹顶与外罩进行安装时也容易发生位置偏移，导致安装的成功率也不高。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，该用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置能够解决穹顶与外罩连接安装时需要多次重复安装、耗费时间和人力较多的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于晶圆薄膜制备的穹顶辅助装置，包括平台、平面密封板和管路，所述平台上固定所述平面密封板，所述平面密封板上设置有沟槽，所述沟槽的形状与穹顶的边缘形状相匹配，所述平台及平面密封板位于所述沟槽内侧的部分开设有气孔，所述平台的下方设置所述管路，所述管路与所述气孔连通。

在本实用新型中，优选的，所述管路包括两条分路，两条所述分路分别用于连接气泵和外部真空源或气源。

在本实用新型中，优选的，所述平台的下方连接有若干支腿。

在本实用新型中，优选的，各所述支腿均为可升降结构，其中至少一个所述支腿为主动升降支腿，其余所述支腿为被动升降支腿。

在本实用新型中，优选的，所述主动升降支腿包括马达和丝杠，所述马达的输出轴与所述丝杠固定连接，所述平台的底部固定连接有螺纹筒，所述丝杠与所述螺纹筒螺纹连接。

在本实用新型中，优选的，所述主动升降支腿包括气缸或电动缸，所述气缸或电动缸的输出轴与所述平台的底部固定连接。

在本实用新型中，优选的，所述支腿下方安装有脚轮。

在本实用新型中，优选的，相邻的所述支腿之间固定连接有若干横梁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：