[实用新型]一种高安全性四氟化硅缓冲罐有效
| 申请号： | 202022692277.9 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213965697U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘立军;刘翠红 | 申请（专利权）人： | 北京广厦大鑫石化设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30;B01D46/00;B01D53/04;B01D53/26;C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101200 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐与所述过滤罐连通设置，所述除湿罐与所述进气管连通设置，所述除湿罐内设置有除湿组件。本申请具有降低四氟化硅水解量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 安全性 氟化 缓冲 | ||
【主权项】：
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