[实用新型]一种高安全性四氟化硅缓冲罐

说明书

本申请涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐与所述过滤罐连通设置，所述除湿罐与所述进气管连通设置，所述除湿罐内设置有除湿组件。本申请具有降低四氟化硅水解量的效果。

技术领域

本申请涉及四氟化硅储存设备技术领域，尤其是涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐。

背景技术

四氟化硅在电子和半导体行业中具有重要作用，主要用于硅化钽和氮化硅的蚀刻剂、P性掺杂剂以及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备点自己硅烷或多晶硅，此外，四氟化硅还广泛应用于水泥制造、电子材料、太阳能电池元件、复印机感光鼓、特大规模集成电路等，但四氟化硅具有很强的吸湿性，在较少水分含量下就会发生分解，分解产物具有一定的毒性，而且四氟化硅对人体具有很强的毒性，对人体呼吸道、神经系统、血液系统产生危害，因此对四氟化硅的储存和转运的设备具有较高的要求。

实用新型内容

为了改善四氟化硅储存时容易水解的问题，本申请提供一种高安全性四氟化硅缓冲罐。

本申请提供的一种高安全性四氟化硅缓冲罐采用如下的技术方案：

一种高安全性四氟化硅缓冲罐，包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐与所述过滤罐连通设置，所述除湿罐与所述进气管连通设置，所述除湿罐内设置有除湿组件。

通过采用上述技术方案，在使用时，四氟化硅气体经输送管道送至过滤罐内，过滤罐内的活性炭和硅藻土对四氟化硅气体内的一部分水分和大颗粒杂质进行吸附，然后在进入除湿罐内，除湿组件将四氟化硅内的残余水分进行深度除湿，减少四氟化硅气体内水分的含量，最后送入缓冲罐本体内待用，由此降低四氟化硅的水解程度，提高四氟化硅的洁净度和使用安全性。

可选的，所述除湿组件包括设置在所述除湿罐内的布气管，所述布气管一端与所述过滤罐连通，所述布气管另一端密封设置，所述布气管侧壁上连通有若干布气支管，所述除湿罐内设有分子筛。

通过采用上述技术方案，四氟化碳经布气管和布气支管分散在除湿罐内，提高四氟化硅与分子筛的接触面积，增加分子筛的吸附效率，进一步降低四氟化硅气体内的水分和杂质含量。

可选的，所述布气支管上开设有若干排气孔，所述排气孔沿所述布气支管长度方向均匀间隔设置。

通过采用上述技术方案，排气管进一步将四氟化硅气体分散，使四氟化硅气体与分子筛接触的更加充分，进行深层吸附除湿。

可选的，所述布气支管沿所述布气管的外侧壁均匀间隔设置。

通过采用上述技术方案，布气支管可以将四氟化硅气体分流在除湿罐的各个位置，提高分子筛的利用率，使除湿罐内各个位置的分子筛的吸附饱和度较为一致，提高除湿罐的除湿效率。

可选的，所述除湿罐外侧壁上还安装有再生组件，所述再生组件包括与所述布气管密封一端连通的送气管，所述除湿罐侧壁上连通有排气管，所述送气管与所述排气管连通有热风机组。

通过采用上述技术方案，热风机组将高温干燥的气体经送气管送入布气管内，然后经布气支管和排气孔送至除湿罐的各个位置，高温干燥气体将分子筛加热，使分子筛吸附的水分和杂质脱附下来，并通过排气管排出除湿罐外，在不断循环下使分子筛再生，可以延长除湿组件的使用寿命，提高前处理装置的工作效率。

可选的，所述排气管一端伸入所述除湿罐内并连通有阻挡分子筛的过滤部。

通过采用上述技术方案，过滤部可以降低分子筛进入排气管内将排气管堵塞的概率。