[实用新型]一种高安全性四氟化硅缓冲罐有效

专利信息
申请号: 202022692277.9 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213965697U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 刘立军;刘翠红 申请(专利权)人: 北京广厦大鑫石化设备有限公司
主分类号: B01D46/30 分类号: B01D46/30;B01D46/00;B01D53/04;B01D53/26;C01B33/107
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 安全性 氟化 缓冲
【权利要求书】:

1.一种高安全性四氟化硅缓冲罐,包括缓冲罐本体(1),所述缓冲罐本体(1)上连通有进气管(12)和出气管(14),其特征在于:所述进气管(12)背离所述缓冲罐本体(1)的一端还连通设置有前处理装置(2),所述前处理装置(2)包括过滤罐(21)和除湿罐(22),所述过滤罐(21)与四氟化硅输送管道连通,所述过滤罐(21)内设有活性炭和硅藻土,所述除湿罐(22)与所述过滤罐(21)连通设置,所述除湿罐(22)与所述进气管(12)连通设置,所述除湿罐(22)内设置有除湿组件。

2.根据权利要求1所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述除湿组件包括设置在所述除湿罐(22)内的布气管(221),所述布气管(221)一端与所述过滤罐(21)连通,所述布气管(221)另一端密封设置,所述布气管(221)侧壁上连通有若干布气支管(222),所述除湿罐(22)内设有分子筛。

3.根据权利要求2所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述布气支管(222)上开设有若干排气孔(223),所述排气孔(223)沿所述布气支管(222)长度方向均匀间隔设置。

4.根据权利要求3所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述布气支管(222)沿所述布气管(221)的外侧壁均匀间隔设置。

5.根据权利要求4所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述除湿罐(22)外侧壁上还安装有再生组件(23),所述再生组件(23)包括与所述布气管(221)密封一端连通的送气管(231),所述除湿罐(22)侧壁上连通有排气管(232),所述送气管(231)与所述排气管(232)连通有热风机组(233)。

6.根据权利要求5所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述排气管(232)一端伸入所述除湿罐(22)内并连通有阻挡分子筛的过滤部(234)。

7.根据权利要求6所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述过滤部(234)为空心球状,所述过滤部(234)上设置有多个过滤孔(235),多个过滤孔(235)在所述过滤部(234)球面上均匀间隔设置。

8.根据权利要求1所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐,其特征在于:所述过滤罐(21)侧壁上设置有进料口(214)和排料口(215)。

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