[实用新型]一种复合型真空校准装置有效
| 申请号： | 202022674591.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213516169U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李兴洋;杨柏豪;王殿磊;刘志超;刘唐兴;杨广强 | 申请（专利权）人： | 阿米检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 蔡宗慧 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合型真空校准装置，包括稳压室、校准室和底座，所述底座顶端的一侧设置有稳压室，所述第四管道顶端的一侧设置有第二管道。本实用新型通过检测分为静态检测和动态检测，静态比对法采用电容薄膜真空计作为参考标准，1x105～100Pa使用1000Torr的电容薄膜规做参考标准，100～1x101a使用1Trr的电容薄膜规做参考标准，所以装置采用静态比对法的校准范围为1x105～1x101pa，动态比对法动态比对法是通过向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室形成动态稳定的气体压力，通过待检测规和IE414，做参考标准同时测量校准室压力，从而加强了该真空校准装置的检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 真空 校准 装置 | ||
【主权项】：
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