[实用新型]一种复合型真空校准装置有效
| 申请号： | 202022674591.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN213516169U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李兴洋;杨柏豪;王殿磊;刘志超;刘唐兴;杨广强 | 申请（专利权）人： | 阿米检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 蔡宗慧 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 真空 校准 装置 | ||
1.一种复合型真空校准装置，包括稳压室(2)、校准室(5)和底座(11)，其特征在于：所述底座(11)顶端的一侧设置有稳压室(2)，所述稳压室(2)一侧的底端设置有进气管(10)，所述稳压室(2)的一侧设置有抽气机构(9)，所述稳压室(2)的一侧设置有第三管道(4)，所述第三管道(4)的一侧设置有校准室(5)，所述校准室(5)的表面设置有加热带(6)，所述校准室(5)的一侧设置有测量机构(1)，所述测量机构(1)包括第一真空规(101)、待检测规(102)、真空计(103)、第一管道(104)、第二真空规(105)以及第二真空规(105)，所述第一真空规(101)设置于稳压室(2)的一侧，所述待检测规(102)设置于第三管道(4)的顶端，所述真空计(103)设置于第三管道(4)的底端，所述第一管道(104)设置于加热带(6)的一侧，所述第一管道(104)一侧的顶端设置有第二真空规(105)，所述第一管道(104)一侧的底端设置有第三真空规(106)，所述测量机构(1)的底端设置有第四管道(8)，所述第四管道(8)的一侧设置有氮气罐(7)，所述第四管道(8)顶端的一侧设置有第二管道(3)。
2.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述第二真空规(105)与第三真空规(106)大小相同，所述第二真空规(105)与第三真空规(106)相互平行。
3.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述稳压室(2)与校准室(5)的大小相同，所述稳压室(2)与校准室(5)呈对称分布。
4.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述加热带(6)在校准室(5)的表面设置有四组，所述加热带(6)呈等间距分布。
5.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述抽气机构(9)包括干泵(901)、支管(902)、分子泵(903)以及连接管(904)，所述干泵(901)设置于底座(11)的顶端，所述干泵(901)的一侧设置有连接管(904)，所述连接管(904)的一侧设置有分子泵(903)，所述分子泵(903)的顶端设置有支管(902)。
6.根据权利要求5所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述支管(902)与连接管(904)大小相同，所述支管(902)与连接管(904)相互垂直。
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