[实用新型]一种化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 202022659737.8 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN215317958U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 高林;黄振伟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B53/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供本一种化学机械研磨设备，包括研磨垫、研磨头以及清理装置，研磨头位于研磨垫的上方，清理装置配置为将清理流体喷吹至研磨垫以清理研磨垫。通过清理装置向研磨垫喷吹清理流体，研磨垫上的晶渣随着喷吹至研磨垫的清理流体被清理至研磨垫外。缓解了研磨垫上的晶渣对研磨头的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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