[实用新型]一种化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 202022659737.8 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN215317958U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 高林;黄振伟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B53/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 设备 | ||
1.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括研磨垫、研磨头以及清理装置，所述研磨头位于所述研磨垫的上方，所述研磨头的转动轴线偏离所述研磨垫的转动轴线，所述清理装置配置为将清理流体喷吹至所述研磨垫以清理所述研磨垫。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述清理装置包括：
喷嘴组，所述喷嘴组位于所述研磨垫的上方，所述喷嘴组配置为将所述清理流体喷吹至所述研磨垫以清理所述研磨垫；以及
导流刮板，位于所述研磨垫的上方，所述导流刮板至少部分地位于所述喷嘴组沿所述研磨垫的周向背离所述研磨头的一侧，所述导流刮板配置为将所述研磨垫上的清理流体和所述研磨垫上被所述清理流体清理出的物料导离所述研磨垫。
3.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述喷嘴组包括至少一个喷嘴，每个所述喷嘴的喷吹方向配置为将所述研磨垫上被所述清理流体清理出的物料吹向所述研磨垫的外侧。
4.根据权利要求3所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述喷嘴的数量为多个，多个所述喷嘴的喷吹方向平行。
5.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述导流刮板沿所述研磨垫的周向朝向所述喷嘴组一侧的表面为凹面。
6.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述导流刮板延伸至所述喷嘴组朝向所述研磨垫内侧的一端。
7.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述导流刮板与所述研磨垫抵接。
8.根据权利要求2所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述导流刮板的材料为柔性材料。
9.根据权利要求1～8任一项所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述化学机械研磨设备还包括研磨液供给装置，所述清理装置位于所述研磨头和所述研磨液供给装置之间，所述清理装置位于所述研磨液供给装置背离所述研磨垫转动方向的一侧。
10.根据权利要求1～8任一项所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述清理流体为氮气和去离子水形成的混合流体。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022659737.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
