[实用新型]一种双工位自动晶圆盒开盖机

摘要

本实用新型公开了一种双工位自动晶圆盒开盖机，其技术方案是：包括两条输送带，还包括外壳组件，所述外壳组件包括框架，所述框架的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃，所述框架的下端固定连接有控制柜，所述框架的内壁固定连接有两根滑轨，该种双工位自动晶圆盒开盖机有益效果是：通过设置外壳组件，可以利用框架配合透明玻璃，从而对晶圆进行保护，可以避免在打开晶圆盒时及打开晶圆盒后，空气中的灰尘污染晶圆，另一方面，通过设置设置开盖机构，利用多个电动推杆的配合，以机械的取代人工打开晶圆盒，自动化程度较高，可以配合流水线高速生产，提高了生产效率，并且不易损坏晶圆盒，方便晶圆盒的反复利用。