[实用新型]一种双工位自动晶圆盒开盖机有效

专利信息
申请号: 202022644782.6 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN213150747U 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 曹承余 申请(专利权)人: 苏州英叶达智能设备科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B08B17/02
代理公司: 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 代理人: 陈钢
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 双工 自动 晶圆盒开盖机
【权利要求书】:

1.一种双工位自动晶圆盒开盖机,包括两条输送带(1),其特征在于:还包括:

外壳组件,所述外壳组件包括框架(2),所述框架(2)的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃(3),所述框架(2)的下端固定连接有控制柜(16),所述框架(2)的内壁固定连接有两根滑轨(4),且滑轨(4)的上表面滑动连接有开盖机构,所述框架(2)的一侧嵌设有控制面板(5),且控制面板(5)与控制柜(16)电性连接设置;

所述开盖机构包括两个支撑架(6),两个所述支撑架(6)的一侧侧板固定连接有滑杆(7),且滑杆(7)与滑轨(4)滑动连接设置,其中一个所述滑轨(4)的一侧固定连接有第一电动推杆(8),且第一电动推杆(8)与支撑架(6)固定连接,所述支撑架(6)的内壁固定连接有第二电动推杆(9),且第二电动推杆(9)的下端固定连接有门字形支架(10),每个所述门字形支架(10)的下端固定连接有两个对称设置的第三电动推杆(11),且两个第三电动推杆(11)相互靠近的一端均固定连接有拨片(12)。

2.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述输送带(1)的上表面开设有两排平行设置的限位槽,且输送带(1)通过导线与控制柜(16)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)的一侧固定连接有接料板(13),且接料板(13)靠近开盖机构设置。

4.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)为铝型材材质,所述透明玻璃(3)为钢化玻璃材质。

5.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)的一侧固定连接有报警灯(14),且报警灯(14)通过导线与控制柜(16)电性连接。

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