[实用新型]一种双工位自动晶圆盒开盖机有效
| 申请号: | 202022644782.6 | 申请日: | 2020-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN213150747U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
| 发明(设计)人: | 曹承余 | 申请(专利权)人: | 苏州英叶达智能设备科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B08B17/02 |
| 代理公司: | 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 | 代理人: | 陈钢 |
| 地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 双工 自动 晶圆盒开盖机 | ||
1.一种双工位自动晶圆盒开盖机,包括两条输送带(1),其特征在于:还包括:
外壳组件,所述外壳组件包括框架(2),所述框架(2)的侧壁和顶部均固定连接有透明玻璃(3),所述框架(2)的下端固定连接有控制柜(16),所述框架(2)的内壁固定连接有两根滑轨(4),且滑轨(4)的上表面滑动连接有开盖机构,所述框架(2)的一侧嵌设有控制面板(5),且控制面板(5)与控制柜(16)电性连接设置;
所述开盖机构包括两个支撑架(6),两个所述支撑架(6)的一侧侧板固定连接有滑杆(7),且滑杆(7)与滑轨(4)滑动连接设置,其中一个所述滑轨(4)的一侧固定连接有第一电动推杆(8),且第一电动推杆(8)与支撑架(6)固定连接,所述支撑架(6)的内壁固定连接有第二电动推杆(9),且第二电动推杆(9)的下端固定连接有门字形支架(10),每个所述门字形支架(10)的下端固定连接有两个对称设置的第三电动推杆(11),且两个第三电动推杆(11)相互靠近的一端均固定连接有拨片(12)。
2.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述输送带(1)的上表面开设有两排平行设置的限位槽,且输送带(1)通过导线与控制柜(16)电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)的一侧固定连接有接料板(13),且接料板(13)靠近开盖机构设置。
4.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)为铝型材材质,所述透明玻璃(3)为钢化玻璃材质。
5.根据权利要求1所述的一种双工位自动晶圆盒开盖机,其特征在于:所述框架(2)的一侧固定连接有报警灯(14),且报警灯(14)通过导线与控制柜(16)电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





