[实用新型]一种可变形电极板及电极结构及化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 202022619617.5 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN214327879U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例中提供了一种可变形电极板、电极结构及化学气相沉积设备，属于化学气相沉积技术领域。该可变形电极板具体包括基片承载区和边缘区，边缘区包围基片承载区，边缘区包括第一边缘和第二边缘，其中第二边缘可拆卸地与第一边缘固定连接。通过对电极板结构的优化，使得可以针对不同的沉积工艺条件调整电极板的外形结构，从而改善工艺气体在基片承载区分布不均匀等原因造成的大面积沉积膜层的厚度不均匀的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变形 极板 电极 结构 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
