[实用新型]一种可变形电极板及电极结构及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种可变形电极板，其特征在于，包括一基片承载区和一边缘区，所述边缘区包围所述基片承载区，所述边缘区包括第一边缘和第二边缘，其中所述第二边缘可拆卸地与所述第一边缘固定连接。

2.根据权利要求1所述的可变形电极板，其特征在于，所述基片承载区为方形结构，所述第一边缘包围于所述基片承载区外侧，且其内侧形状与所述基片承载区外侧形状相适。

3.根据权利要求1所述的可变形电极板，其特征在于，所述边缘区呈中空的方形结构，所述第一边缘位于所述边缘区内侧，所述第二边缘位于所述边缘区外侧，所述第二边缘组成所述方形结构的四个角。

4.根据权利要求3所述的可变形电极板，其特征在于，所述第二边缘包括第一补偿件，所述第一补偿件呈三角形结构，所述第一补偿件与所述第一边缘可拆卸地固定连接。

5.根据权利要求4所述的可变形电极板，其特征在于，所述第二边缘还包括第二补偿件，所述第一补偿件呈直角三角形结构，所述第二补偿件可拆卸地固定在所述第一补偿件的两条直角边上。

6.根据权利要求5所述的可变形电极板，其特征在于，所述第一补偿件通过所述直角三角形结构的斜边与所述第一边缘可拆卸的固定连接。

7.根据权利要求1所述的可变形电极板，其特征在于，所述基片承载区呈方形结构或圆形结构或三角形结构。

8.一种电极结构，包括上电极板和下电极板，其特征在于，所述下电极板采用如权利要求1-7任意一项所述的可变形电极板，所述上电极板上设置有可供气体穿过的通孔。

9.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求8所述的电极结构，还包括一工艺腔室，所述电极结构设置于所述工艺腔室内，所述工艺腔室上设置有一进气口和一排气口，所述上电极板靠近所述进气口放置，所述下电极板靠近所述排气口设置。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括一真空泵，所述真空泵通过真空管道连接所述排气口。