[实用新型]一种光芯片晶圆级老化设备台有效
| 申请号： | 202022611304.5 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN214622723U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 熊联军;李晓琳;冯硕;黄晓华;赵一滟 | 申请（专利权）人： | 江苏砚灵智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;H01S5/00 |
| 代理公司： | 盐城高创知识产权代理事务所(普通合伙) 32429 | 代理人： | 张云 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，涉及激光器技术领域，本实用新型包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，安装机构包括第二滑座，两个第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，定位机构包括安装柱，四个安装柱一表面均与台板一表面连接，连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，竖杆一表面与台板周侧面连接，工作机构旋转圆台，第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合，本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 晶圆级 老化 设备 | ||
【主权项】：
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