[实用新型]一种光芯片晶圆级老化设备台

权利要求书

1.一种光芯片晶圆级老化设备台，包括工作台(100)、安装机构(200)、定位机构(300)、连接机构(400)以及工作机构(500)，其特征在于：所述工作台(100)包括台板(110)、第一滑座(130)以及第二滑轨(140)，所述安装机构(200)包括第二滑座(210)，两个所述第二滑轨(140)一端均与第一滑座(130)上表面连接，两个所述第二滑轨(140)另一端均与第二滑座(210)滑动配合，所述定位机构(300)包括安装柱(310)，四个所述安装柱(310)一表面均与台板(110)一表面连接，所述连接机构(400)包括竖杆(410)、第三滑轨(430)以及第三滑座(440)，所述竖杆(410)一表面与台板(110)周侧面连接，所述工作机构(500)旋转圆台(510)，所述第三滑座(440)一端与第三滑轨(430)滑动配合，所述第三滑座(440)另一端与旋转圆台(510)旋转配合。

2.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述工作台(100)还包括第一滑轨(120)，两个所述第一滑轨(120)一端均与台板(110)上表面连接，两个所述第一滑轨(120)另一端均与第一滑座(130)滑动配合。

3.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述安装机构(200)还包括安装台(220)、第一分区(230)以及第二分区(240)，所述安装台(220)安装于第二滑座(210)上表面，所述第一分区(230)以及第二分区(240)一表面均与安装台(220)一表面连接。

4.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述定位机构(300)还包括定位仪(320)，四个所述定位仪(320)分别安装于四个安装柱(310)周侧面。

5.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述连接机构(400)还包括横杆(420)，所述横杆(420)周侧面与竖杆(410)一表面连接，所述第三滑轨(430)安装于横杆(420)下表面。

6.根据权利要求1所述的一种光芯片晶圆级老化设备台，其特征在于：所述工作机构(500)还包括连接杆(520)、安装板(530)、第一针卡(540)以及第二针卡(550)，所述连接杆(520)一端与旋转圆台(510)下表面连接，所述连接杆(520)另一端与两个安装板(530)上表面连接，所述第一针卡(540)以及第二针卡(550)分别安装于两个安装板(530)下表面。