[实用新型]一种光芯片晶圆级老化设备台

说明书

本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，涉及激光器技术领域，本实用新型包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，安装机构包括第二滑座，两个第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，定位机构包括安装柱，四个安装柱一表面均与台板一表面连接，连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，竖杆一表面与台板周侧面连接，工作机构旋转圆台，第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合，本实用新型为一种光芯片晶圆级老化设备台，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动。

技术领域

本实用新型涉及激光器技术领域，特别涉及一种光芯片晶圆级老化设备台。

背景技术

现有方案暂无针对晶圆级光芯片进行老化，主要是针对分割后产品进行老化，而采用晶圆级老化技术可以更早发现不良品，减少后续工艺造成的成本损失。

现有技术下的光芯片晶圆级老化设备台有着安装机构移动受限、工作机构不可移动等问题，为此我们提出了一种光芯片晶圆级老化设备台。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种光芯片晶圆级老化设备台，可以有效解决背景技术中安装机构移动受限、工作机构不可移动等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种光芯片晶圆级老化设备台，包括工作台、安装机构、定位机构、连接机构以及工作机构，所述工作台包括台板、第一滑座以及第二滑轨，所述安装机构包括第二滑座，两个所述第二滑轨一端均与第一滑座上表面连接，两个所述第二滑轨另一端均与第二滑座滑动配合，所述定位机构包括安装柱，四个所述安装柱一表面均与台板一表面连接，所述连接机构包括竖杆、第三滑轨以及第三滑座，所述竖杆一表面与台板周侧面连接，所述工作机构旋转圆台，所述第三滑座一端与第三滑轨滑动配合，所述第三滑座另一端与旋转圆台旋转配合。

优选地，所述工作台还包括第一滑轨，两个所述第一滑轨一端均与台板上表面连接，两个所述第一滑轨另一端均与第一滑座滑动配合，台板是整个设备的工作平台。

优选地，所述安装机构还包括安装台、第一分区以及第二分区，所述安装台安装于第二滑座上表面，所述第一分区以及第二分区一表面均与安装台一表面连接，第一分区以及第二分区是根据产品尺寸来进行划分的。

优选地，所述定位机构还包括定位仪，四个所述定位仪分别安装于四个安装柱周侧面，定位仪可以对放置好的芯片进行精确定位。

优选地，所述连接机构还包括横杆，所述横杆周侧面与竖杆一表面连接，所述第三滑轨安装于横杆下表面，竖杆是承接整个连接机构以及工作机构的承重平台。

优选地，所述工作机构还包括连接杆、安装板、第一针卡以及第二针卡，所述连接杆一端与旋转圆台下表面连接，所述连接杆另一端与两个安装板上表面连接，所述第一针卡以及第二针卡分别安装于两个安装板下表面，旋转圆台可以改变第一针卡以及第二针卡的位置。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型设置了第一滑轨以及第二滑轨，第一滑轨与第一滑座滑动，第二滑轨与第二滑座滑动，可以在平面内向各个方向实现移动；

2、本实用新型通过在横杆上设置第三滑轨，第三滑座在第三滑轨上滑动，可以改变工作机构的位置，打破了以往工作机构固定的弊端。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。