[实用新型]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手

摘要

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动，直线模组组件在输运舱内向工艺舱方向运动到极限位置时，其上安装的夹爪组件中的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱，所述夹爪组件自身结构可驱动其上、下爪板相向或背向运动而靠近或远离，从而实现抓取或松开挂板。本实用新型机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。