[实用新型]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手

权利要求书

1.一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其特征在于，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；

所述动力组与所述直线模组组件相连，所述夹爪组件与所述直线模组组件相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动；

所述夹爪组件包括移动支架和用于挂板抓取的上、下爪板机构；

所述移动支架包括立架、支架和驱动主板；所述立架支撑着整个所述夹爪组件，所述支架固定在所述立架上，整体形成向前凸出的倒L形，所述驱动主板可横向滑动地安装在所述支架前端面中部，它们之间还设有气缸，以驱动两者的相对运动，所述驱动主板的前端面横中轴线的两侧，对称的设有一组凸轮轴承，所述上、下爪板机构包括上、下爪板，这两爪板分别设置在所述驱动主板前端面的上、下侧，并分别设有一条镂空的斜槽，两斜槽形成横置的八字形，所述驱动主板横中轴线两侧的凸轮轴承分别套在对应的斜槽中，所述上、下爪板还分别可上、下滑动地安装在其背后的所述支架的上、下侧，所述直线模组组件在输运舱内向所述工艺舱方向运动到极限位置时，凸出的所述支架使其上安装的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱。

2.根据权利要求1所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述输运舱内的所述送取挂板机械手只有一个。

3.根据权利要求2所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述直线模组组件包括直线模组和与之并排的导轨，所述立架底部滑动安装在所述直线模组组件的导轨上，并通过连接件与所述直线模组的可移动滑块相连，所述动力组与所述直线模组相连，驱动所述直线模组的滑块往复运动。

4.根据权利要求3所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述上爪板的前端面为一平板，该平板的上部两侧设有护板，顶端设有前伸的弯板，所述上爪板机构还包括用于作用在挂板上的夹紧块，其安装在所述弯板的底面；所述下爪板与所述上爪板上、下对称。

5.根据权利要求4所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述夹紧块横截面呈U字形。

6.根据权利要求1所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述立架呈一直角梯形体，由6个面构成，并设有多处镂空。

7.根据权利要求1所述的送取挂板机械手，其特征在于，所述支架侧视图呈等腰梯形，包括平行的前端面和背面，前端面分断成上下两部分，每部分分别通过中间面连接背面，两中间面中部由H形的框架连在一起，该H形框架两前端脚形成外翻边，由所述支架的前端面看，H形框架及其外翻边设置在前端面的分断处内侧，所述支架的多个面上也分别设有镂空结构。