[实用新型]一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手

说明书

一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动，直线模组组件在输运舱内向工艺舱方向运动到极限位置时，其上安装的夹爪组件中的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱，所述夹爪组件自身结构可驱动其上、下爪板相向或背向运动而靠近或远离，从而实现抓取或松开挂板。本实用新型机械手控制精度高，能平稳、可靠地完成大型多舱室真空镀膜机内大型挂板的传送任务。

技术领域

本实用新型涉及大型真空镀膜机内，特别是多舱配置的大型真空镀膜机内，负责完成大型工件挂板自动传送任务的一种机械手。

背景技术

真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。为提高产能和效率，设备设计越来越大，装载量越来越多，单个工件挂具(多个工件挂装在挂具上一起完成镀膜)也越大越重；为提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是每炉镀膜包括装卸工件都在真空中进行不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。因此，近年来真空镀膜设备发展方面，一方面大型化，一方面是多舱化。

多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与进料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从进料舱送入工艺舱(镀膜工艺舱室的简称)，镀膜工艺完成后，再在真空状态下把工件移出到出料舱。设备的大型化，使装挂工件的挂具数量多，挂具体积大，装挂上工件后的挂具重量很重。这些挂具在真空状态下传送转舱，必须靠机械手完成。

为适应当前真空镀膜设备的发展趋势，研制真空机械手是当务之急。因为真空镀膜机的镀膜工件材质、大小、形状各异，所用工件挂具的大小、形状、数量也不同，另外，不同型号真空镀膜机的预备舱(主要指进料仓和出料仓)、过渡舱(用于连通进、出料仓与工艺舱)和工艺舱的设计也会不同，与之适应的挂具的传送方式也会有不同，因此机械手的动作和功能不尽相同，故机械手的设计五花八样。对于炉内可挂二十多块大尺寸、重量重的矩形平板式挂具(挂具尺寸 300mmx1500mmx35mm，挂满工件时，重40kg左右)的大型真空镀膜设备，目前还没有能完成工件挂板自动传送任务的机械手。

实用新型内容

本实用新型的发明目的是，提供一种用于大型多舱室真空镀膜机内大型挂板传送的输运舱送取挂板机械手。

本实用新型的发明目的通过如下技术方案实现：一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的送取挂板机械手，其设置在输运舱，用于工艺舱的投料和取料，其包括动力组、直线模组组件和夹爪组件；

所述动力组与所述直线模组组件相连，所述夹爪组件与所述直线模组组件相连，所述动力组提供动力，通过所述直线模组组件驱动所述夹爪组件做直线往复运动；

所述夹爪组件包括移动支架和用于挂板抓取的上、下爪板机构；

所述移动支架包括立架、支架和驱动主板；所述立架支撑着整个所述夹爪组件，所述支架固定在所述立架上，整体形成前凸结构，所述驱动主板可横向滑动地安装在所述支架前端面中部，它们之间还设有气缸，以驱动两者的相对运动，所述驱动主板的前端面横中轴线的两侧，对称的设有一组凸轮轴承，所述上、下爪板机构包括上、下爪板，这两爪板分别设置在所述驱动主板前端面的上、下侧，并分别设有一条镂空的斜槽，两斜槽形成横置的八字形，所述驱动主板横中轴线两侧的凸轮轴承分别套在对应的斜槽中，所述上、下爪板还分别可上、下滑动地安装在其背后的所述支架的上、下侧，所述直线模组组件在输运舱内向所述工艺舱方向运动到极限位置时，所述前凸结构使其上安装的上、下爪板穿出输运舱进入工艺舱。