[实用新型]一种加热系统和真空装置有效
| 申请号： | 202022586945.X | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213778383U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 周广福;赵鑫;吴超;赵海伟 | 申请（专利权）人： | 新奥科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/12 |
| 代理公司： | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人： | 安伟 |
| 地址： | 065001 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种加热系统和真空装置，该加热系统包括：控制器和多个加热模块；所述加热模块固定于所述真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。该加热系统能够均匀加热真空容器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 系统 真空 装置 | ||
【主权项】：
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