[实用新型]一种加热系统和真空装置有效

专利信息
申请号: 202022586945.X 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213778383U 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 周广福;赵鑫;吴超;赵海伟 申请(专利权)人: 新奥科技发展有限公司
主分类号: F26B5/04 分类号: F26B5/04;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/12
代理公司: 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 代理人: 安伟
地址: 065001 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 加热 系统 真空 装置
【权利要求书】:

1.一种加热系统,其特征在于,包括:控制器和多个加热模块;

所述加热模块固定于真空容器的表面,用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度;所述控制器与多个所述加热模块电连接,用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。

2.根据权利要求1所述的加热系统,其特征在于,所述加热模块包括:加热丝、温度传感器和温度控制器;

所述加热丝和所述温度传感器均固定于所述真空容器的表面;所述温度传感器位于所述加热丝的间隙处,用于检测所述加热区域的温度;

所述温度控制器分别与所述加热丝和所述温度传感器电连接,用于根据接收到的所述加热区域的温度控制对应的所述加热丝的加热温度,以使所述加热区域的温度达到所述目标温度。

3.根据权利要求2所述的加热系统,其特征在于,多个所述加热区域包括第一加热区域和第二加热区域,所述第一加热区域的面积大于第二加热区域的面积;

所述第一加热区域内的所述加热丝的长度大于所述第二加热区域内的所述加热丝的长度。

4.根据权利要求2所述的加热系统,其特征在于,

多个所述加热区域包括第三加热区域和第四加热区域,所述第三加热区域的面积等于所述第四加热区域的面积;所述第三加热区域内设置有障碍物,所述第四加热区域内未设置所述障碍物;

所述第三加热区域内的所述加热丝的长度大于所述第四加热区域内的所述加热丝的长度。

5.根据权利要求4所述的加热系统,其特征在于,同一所述第三加热区域内,所述加热丝的长度与所述障碍物的吸热功率呈正比。

6.根据权利要求4所述的加热系统,其特征在于,所述障碍物的表面未设置所述加热丝。

7.根据权利要求2所述的加热系统,其特征在于,所述加热丝焊接于所述真空容器的表面。

8.根据权利要求2所述的加热系统,其特征在于,所述加热丝在所述真空容器的表面呈弯曲状。

9.根据权利要求2所述的加热系统,其特征在于,所述加热模块固定于所述真空容器的外壁表面。

10.一种真空装置,其特征在于,包括真空容器以及如权利要求1-9任一项所述的加热系统。

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