[实用新型]一种加热系统和真空装置

说明书

本实用新型涉及一种加热系统和真空装置，该加热系统包括：控制器和多个加热模块；所述加热模块固定于所述真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。该加热系统能够均匀加热真空容器。

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，尤其涉及一种加热系统和真空装置。

背景技术

大型超真空容器的真空度通常能够达到10^-5Pa，并且已经广泛应用于受控磁约束聚变装置中。不锈钢结构材料在冶炼过程中，材料长时间接触大气，也会吸附水汽、碳氢化合物及各种杂质，在抽真空时，材料表面气体的解析和扩散衰减非常慢，冷态除气无法满足超高真空容器对真空度的要求，因此需要加热烘烤处理。

现有技术中，超高真空容器的加热烘烤主要有两种方式：一种是在超高真空容器的表面设置加热丝，通过热辐射和传导实现加热烘烤；另一种是真空壁夹层的通道内通入热氮气，通过传导对真空壁进行加热烘烤。但是，前者温控器只能接入一个温度传感器，大型真空容器表面积很大，需要布置较长的加热丝，且不同部位的障碍物分布情况不同，使得单个测温点不能有效反映真实的温度分布，容易导致烘烤不均匀；后者由于进气口与出气口温差大，容易导致烘烤不均匀。

实用新型内容

为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本实用新型提供了一种加热系统和真空装置。

第一方面，本实用新型公开了一种加热系统，包括：控制器和多个加热模块；

所述加热模块固定于所述真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。

可选的，所述加热模块包括：加热丝、温度传感器和温度控制器；

所述加热丝和所述温度传感器均固定于所述真空容器的表面；

所述温度传感器位于所述加热丝的间隙处，用于检测所述加热区域的温度；

所述温度控制器分别与所述加热丝和所述温度传感器电连接，用于根据接收到的所述加热区域的温度控制对应的所述加热丝的加热温度，以使所述加热区域的温度达到所述目标温度。

可选的，多个所述加热区域包括第一加热区域和第二加热区域，所述第一加热区域的面积大于所述第二加热区域的面积；

所述第一加热区域内的所述加热丝的长度大于所述第二加热区域内的所述加热丝的长度。

可选的，多个所述加热区域包括第三加热区域和第四加热区域，所述第三加热区域的面积等于所述第四加热区域的面积；所述第一加热区域内设置有障碍物，所述第二加热区域内未设置所述障碍物；

所述第三加热区域内的所述加热丝的长度大于所述第四加热区域内的所述加热丝的长度。

可选的，同一所述第三加热区域内，所述加热丝的长度与所述障碍物的面积呈正比。

可选的，所述障碍物的表面未设置所述加热丝。

可选的，所述加热丝焊接于所述真空容器的表面。

可选的，所述加热丝在所述真空容器的表面呈弯曲状。

可选的，所述加热模块固定于所述真空容器的外壁表面。

第二方面，本实用新型公开了一种真空装置，包括真空容器以及第一方面提供的任一种加热系统。

本实用新型实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：