[实用新型]一种刻蚀机的供气系统有效

专利信息
申请号: 202022512327.0 申请日: 2020-11-03
公开(公告)号: CN214075492U 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 吴峰;唐建成 申请(专利权)人: 无锡芯汉电子科技有限公司
主分类号: B01D46/00 分类号: B01D46/00;B01D46/10;H01L21/67
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214071 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种刻蚀机的供气系统,包括方体,所述方体内部开设有凹槽,所述方体外壁一侧开设有稳定槽,所述稳定槽与凹槽连通,所述稳定槽内部固定连接有过滤网,所述过滤网外壁一侧设有毛刷,所述毛刷外壁远离过滤网一侧固定连接有滑套,所述滑套外壁转动连接有第一支撑板。本实用新型通过在滑杆外壁设置滑板,滑板的加入,使滑杆可以带动滑套运动,第一支撑板的加入,使滑套的稳定性增加,连接块和连接槽的加入,使滑套自转时,可以滑动运动,从动轴的加入,使主动轴可以带动稳定杆运动,第三支撑板的加入,使转杆可以圆周运动,活动杆和活动套的加入,使滑块可以带动连接块运动。
搜索关键词: 一种 刻蚀 供气 系统
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡芯汉电子科技有限公司,未经无锡芯汉电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202022512327.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top