[实用新型]一种刻蚀机的供气系统有效
申请号: | 202022512327.0 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN214075492U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 吴峰;唐建成 | 申请(专利权)人: | 无锡芯汉电子科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/10;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214071 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种刻蚀机的供气系统,包括方体,所述方体内部开设有凹槽,所述方体外壁一侧开设有稳定槽,所述稳定槽与凹槽连通,所述稳定槽内部固定连接有过滤网,所述过滤网外壁一侧设有毛刷,所述毛刷外壁远离过滤网一侧固定连接有滑套,所述滑套外壁转动连接有第一支撑板。本实用新型通过在滑杆外壁设置滑板,滑板的加入,使滑杆可以带动滑套运动,第一支撑板的加入,使滑套的稳定性增加,连接块和连接槽的加入,使滑套自转时,可以滑动运动,从动轴的加入,使主动轴可以带动稳定杆运动,第三支撑板的加入,使转杆可以圆周运动,活动杆和活动套的加入,使滑块可以带动连接块运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 供气 系统 | ||
【主权项】:
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