[实用新型]一种刻蚀机的供气系统有效
申请号: | 202022512327.0 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN214075492U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 吴峰;唐建成 | 申请(专利权)人: | 无锡芯汉电子科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/10;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214071 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 供气 系统 | ||
1.一种刻蚀机的供气系统,包括方体(1),其特征在于:所述方体(1)内部开设有凹槽(2),所述方体(1)外壁一侧开设有稳定槽(3),所述稳定槽(3)与凹槽(2)连通,所述稳定槽(3)内部固定连接有过滤网(4),所述过滤网(4)外壁一侧设有毛刷(5),所述毛刷(5)外壁远离过滤网(4)一侧固定连接有滑套(6),所述滑套(6)外壁转动连接有第一支撑板(7),所述第一支撑板(7)一端与凹槽(2)内壁固定连接,所述滑套(6)内部开设有第一滑槽(8),所述第一滑槽(8)内部滑动连接有滑杆(9),所述第一滑槽(8)一侧开设有第二滑槽(10),所述第一滑槽(8)与第二滑槽(10)连通,所述第二滑槽(10)内部滑动连接有滑板(11),所述滑板(11)外壁一侧与滑杆(9)外壁固定连接,所述滑杆(9)远离滑套(6)一端固定连接有连接杆(12),所述连接杆(12)远离滑杆(9)一端与凹槽(2)内壁转动连接,所述滑套(6)外壁开设有连接槽(13),所述连接槽(13)内部滑动连接有连接块(14),所述连接块(14)外壁一侧铰接有活动套(15),所述活动套(15)远离滑套(6)一端滑动连接有活动杆(16),所述活动杆(16)远离活动套(15)一端与凹槽(2)内壁铰接,所述活动杆(16)外壁滑动连接有滑块(17),所述滑块(17)外壁一侧铰接有转杆(18),所述转杆(18)远离滑块(17)一端固定连接有稳定杆(19),所述稳定杆(19)外壁转动连接有第二支撑板(20),所述第二支撑板(20)一端与凹槽(2)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述凹槽(2)内部设有电机(21),所述电机(21)输出轴一端固定连接有主动轴(22),所述主动轴(22)顶部与连接杆(12)之间设有第一转向齿轮(23),所述主动轴(22)一侧设有从动轴(24),所述从动轴(24)与主动轴(22)之间设有第二转向齿轮(25),所述从动轴(24)与稳定杆(19)之间设有第三转向齿轮(26)。
3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述从动轴(24)外壁转动连接有第三支撑板,所述第三支撑板一端与凹槽(2)内壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述第二滑槽(10)的数量设置为多个,多个所述第二滑槽(10)对称分布于第一滑槽(8)两侧。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述稳定槽(3)的截面形状设置为圆形,所述连接杆(12)与凹槽(2)连接处设有轴承。
6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述滑板(11)的数量设置为两个,两个所述滑板(11)对称分布于滑杆(9)外壁两侧。
7.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的供气系统,其特征在于:所述第一滑槽(8)的截面形状设置为圆形。
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