[实用新型]一种刻蚀机的供气系统有效
申请号: | 202022512327.0 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN214075492U | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
发明(设计)人: | 吴峰;唐建成 | 申请(专利权)人: | 无锡芯汉电子科技有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/10;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214071 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 刻蚀 供气 系统 | ||
本实用新型公开了一种刻蚀机的供气系统,包括方体,所述方体内部开设有凹槽,所述方体外壁一侧开设有稳定槽,所述稳定槽与凹槽连通,所述稳定槽内部固定连接有过滤网,所述过滤网外壁一侧设有毛刷,所述毛刷外壁远离过滤网一侧固定连接有滑套,所述滑套外壁转动连接有第一支撑板。本实用新型通过在滑杆外壁设置滑板,滑板的加入,使滑杆可以带动滑套运动,第一支撑板的加入,使滑套的稳定性增加,连接块和连接槽的加入,使滑套自转时,可以滑动运动,从动轴的加入,使主动轴可以带动稳定杆运动,第三支撑板的加入,使转杆可以圆周运动,活动杆和活动套的加入,使滑块可以带动连接块运动。
技术领域
本实用新型涉及刻蚀机技术领域,具体涉及一种刻蚀机的供气系统。
背景技术
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类,在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,如今市场上所见到的自动型化学蚀刻机是通过高压喷淋及被蚀刻板直线运动形成连续不间断进料状态进行对工件腐蚀以提高生产效率,蚀刻机在使用过程中蚀刻机液体可循环使用。而蚀刻机液体需要过滤,才可以循环使用。目前,市面上的刻蚀机内部进行过滤网清理时,过滤网摩擦过度,大大缩短的过滤网使用寿命。
因此,发明一种刻蚀机的供气系统来解决上述问题很有必要。
在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种刻蚀机的供气系统,通过在滑杆外壁设置滑板,使滑杆可以带动滑套运动,在滑套外壁设置第一支撑板,使滑套的稳定性增加,在滑套外壁设置连接槽,使滑套自转时,可以滑动运动,以解决技术中的上述不足之处。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种刻蚀机的供气系统,包括方体,所述方体内部开设有凹槽,所述方体外壁一侧开设有稳定槽,所述稳定槽与凹槽连通,所述稳定槽内部固定连接有过滤网,所述过滤网外壁一侧设有毛刷,所述毛刷外壁远离过滤网一侧固定连接有滑套,所述滑套外壁转动连接有第一支撑板,所述第一支撑板一端与凹槽内壁固定连接,所述滑套内部开设有第一滑槽,所述第一滑槽内部滑动连接有滑杆,所述第一滑槽一侧开设有第二滑槽,所述第一滑槽与第二滑槽连通,所述第二滑槽内部滑动连接有滑板,所述滑板外壁一侧与滑杆外壁固定连接,所述滑杆远离滑套一端固定连接有连接杆,所述连接杆远离滑杆一端与凹槽内壁转动连接,所述滑套外壁开设有连接槽,所述连接槽内部滑动连接有连接块,所述连接块外壁一侧铰接有活动套,所述活动套远离滑套一端滑动连接有活动杆,所述活动杆远离活动套一端与凹槽内壁铰接,所述活动杆外壁滑动连接有滑块,所述滑块外壁一侧铰接有转杆,所述转杆远离滑块一端固定连接有稳定杆,所述稳定杆外壁转动连接有第二支撑板,所述第二支撑板一端与凹槽固定连接。
优选的,所述凹槽内部设有电机,所述电机输出轴一端固定连接有主动轴,所述主动轴顶部与连接杆之间设有第一转向齿轮,所述主动轴一侧设有从动轴,所述从动轴与主动轴之间设有第二转向齿轮,所述从动轴与稳定杆之间设有第三转向齿轮。
优选的,所述从动轴外壁转动连接有第三支撑板,所述第三支撑板一端与凹槽内壁固定连接。
优选的,所述第二滑槽的数量设置为多个,多个所述第二滑槽对称分布于第一滑槽两侧。
优选的,所述稳定槽的截面形状设置为圆形,所述连接杆与凹槽连接处设有轴承。
优选的,所述滑板的数量设置为两个,两个所述滑板对称分布于滑杆外壁两侧。
优选的,所述第一滑槽的截面形状设置为圆形。
在上述技术方案中,本实用新型提供的技术效果和优点:
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