[实用新型]一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计

摘要

本实用新型提供一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，涉及CMP设备流量计技术领域，包括计量管和调节装置，所述计量管的上端固定安装有显示器，所述计量管的两端均滑动连接有管道，所述管道的中部连通有波纹管，所述计量管的表面设有调节装置，所述调节装置包括螺杆，所述螺杆的圆弧面与计量管滑动连接，所述螺杆均匀分布在计量管的表面，所述螺杆远离计量管的一端固定连接有卡块。本实用新型，解决了当CMP设备更换所抛光的物体时，对应的抛光剂也需要重新更换配比，因此需要将流量计拆卸下来进行清洗，而流量计传统的安装方法较为繁琐，当需要拆卸流量计时较为麻烦，在一定程度上降低了CMP设备抛光的工作效率的问题。