[实用新型]一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计

权利要求书

1.一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，包括计量管(1)和调节装置(5)，其特征在于：所述计量管(1)的上端固定安装有显示器(2)，所述计量管(1)的两端均滑动连接有管道(3)，所述管道(3)的中部连通有波纹管(4)，所述计量管(1)的表面设有调节装置(5)，所述调节装置(5)包括螺杆(51)，所述螺杆(51)的圆弧面与计量管(1)滑动连接，所述螺杆(51)均匀分布在计量管(1)的表面，所述螺杆(51)远离计量管(1)的一端固定连接有卡块(52)，所述卡块(52)靠近螺杆(51)的一侧滑动连接有固定环(53)，且固定环(53)的内壁与管道(3)固定连接，所述固定环(53)远离计量管(1)的一侧固定连接有固定块(54)，且固定块(54)均匀分布在固定环(53)的表面，所述螺杆(51)远离管道(3)的一端螺纹连接有螺纹管(55)，且螺纹管(55)的两端表面开设有相反的螺纹，所述计量管(1)靠近管道(3)的一侧固定连接有卡环(56)，所述卡环(56)的形状与计量管(1)内壁的形状相适配。

2.根据权利要求1所述的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，其特征在于：所述螺杆(51)远离管道(3)的一端滑动连接有限位环(57)，所述限位环(57)的圆弧面固定安装有连接环(58)，且连接环(58)的内壁与计量管(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，其特征在于：所述卡环(56)的内壁卡有密封垫(59)，且密封垫(59)的形状与卡环(56)的内壁的形状相适配。

4.根据权利要求1所述的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，其特征在于：所述计量管(1)的圆弧面设有清洁装置(6)，所述清洁装置(6)包括转动板(61)，所述转动板(61)的一端与计量管(1)转动连接，所述转动板(61)呈“L”形，所述转动板(61)远离计量管(1)的一端固定连接有隔板(62)，所述隔板(62)的两侧均开设有滑槽(63)，两个所述滑槽(63)的内壁滑动连接有滑块(64)，且滑块(64)呈“U”形，所述滑块(64)靠近计量管(1)的一侧固定连接有固定板(65)，所述固定板(65)靠近计量管(1)内壁的一侧固定连接有弹簧(66)，所述弹簧(66)均匀分布在固定板(65)的表面，所述弹簧(66)远离固定板(65)的一端固定连接有清洁板(67)，所述清洁板(67)远离弹簧(66)的一侧呈圆弧状。

5.根据权利要求4所述的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，其特征在于：所述滑块(64)远离隔板(62)的一侧固定连接有拉杆(68)，且拉杆(68)呈圆杆状。

6.根据权利要求4所述的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，其特征在于：所述弹簧(66)的内部滑动连接有限位杆(69)，所述限位杆(69)的一端与固定板(65)固定连接，所述限位杆(69)远离固定板(65)的一端与清洁板(67)滑动连接。