[实用新型]一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计

说明书

本实用新型提供一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，涉及CMP设备流量计技术领域，包括计量管和调节装置，所述计量管的上端固定安装有显示器，所述计量管的两端均滑动连接有管道，所述管道的中部连通有波纹管，所述计量管的表面设有调节装置，所述调节装置包括螺杆，所述螺杆的圆弧面与计量管滑动连接，所述螺杆均匀分布在计量管的表面，所述螺杆远离计量管的一端固定连接有卡块。本实用新型，解决了当CMP设备更换所抛光的物体时，对应的抛光剂也需要重新更换配比，因此需要将流量计拆卸下来进行清洗，而流量计传统的安装方法较为繁琐，当需要拆卸流量计时较为麻烦，在一定程度上降低了CMP设备抛光的工作效率的问题。

技术领域

本实用新型涉及CMP设备流量计技术领域，尤其涉及一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计。

背景技术

指示被测流量和在选定的时间间隔内流体总量的仪表。简单来说就是用于测量管道或明渠中流体流量的一种仪表，又分为有差压式流量计、转子流量计、节流式流量计、细缝流量计、容积流量计、电磁流量计、超声波流量计等。按介质分类：液体流量计和气体流量计。

在流量计用于化学抛光领域中，流量计一般用来测量圆管中抛光剂的流量，而由于CMP设备对不同物体进行化学抛光时，圆管内的抛光剂的配比不同，因此当CMP设备更换所抛光的物体时，对应的抛光剂也需要重新更换配比，因此需要将流量计拆卸下来进行清洗，而流量计传统的安装方法较为繁琐，当需要拆卸流量计时较为麻烦，在一定程度上降低了CMP设备抛光的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种便于稳定输送物料的CMP设备用流量计，包括计量管和调节装置，所述计量管的上端固定安装有显示器，所述计量管的两端均滑动连接有管道，所述管道的中部连通有波纹管，所述计量管的表面设有调节装置，所述调节装置包括螺杆，所述螺杆的圆弧面与计量管滑动连接，所述螺杆均匀分布在计量管的表面，所述螺杆远离计量管的一端固定连接有卡块，所述卡块靠近螺杆的一侧滑动连接有固定环，且固定环的内壁与管道固定连接，所述固定环远离计量管的一侧固定连接有固定块，且固定块均匀分布在固定环的表面，所述螺杆远离管道的一端螺纹连接有螺纹管，且螺纹管的两端表面开设有相反的螺纹，所述计量管靠近管道的一侧固定连接有卡环，所述卡环的形状与计量管内壁的形状相适配。

优选的，所述螺杆远离管道的一端滑动连接有限位环，所述限位环的圆弧面固定安装有连接环，且连接环的内壁与计量管固定连接。

优选的，所述卡环的内壁卡有密封垫，且密封垫的形状与卡环的内壁的形状相适配。

优选的，所述计量管的圆弧面设有清洁装置，所述清洁装置包括转动板，所述转动板的一端与计量管转动连接，所述转动板呈“L”形，所述转动板远离计量管的一端固定连接有隔板，所述隔板的两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内壁滑动连接有滑块，且滑块呈“U”形，所述滑块靠近计量管的一侧固定连接有固定板，所述固定板靠近计量管内壁的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧均匀分布在固定板的表面，所述弹簧远离固定板的一端固定连接有清洁板，所述清洁板远离弹簧的一侧呈圆弧状。

优选的，所述滑块远离隔板的一侧固定连接有拉杆，且拉杆呈圆杆状。

优选的，所述弹簧的内部滑动连接有限位杆，所述限位杆的一端与固定板固定连接，所述限位杆远离固定板的一端与清洁板滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，