[实用新型]高兼容性晶棒检测辅助机台有效
| 申请号: | 202022459266.6 | 申请日: | 2020-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN213780023U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | 陈锋 | 申请(专利权)人: | 江苏指南针自动化科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
| 代理公司: | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人: | 尹均利 |
| 地址: | 215612 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种高兼容性晶棒检测辅助机台,包括机架本体,所述机架本体内安装若干顶升气缸和旋转驱动电机,所述顶升气缸的输出端连接顶升托架,所述旋转驱动电机的输出端通过两根传动链条连接两个旋转轴,每个所述旋转旋转轴上安装旋转滚轮,两个旋转滚轮对称设置。本实用新型高兼容性晶棒检测辅助机台通过旋转滚轮可以自由旋转晶棒辅助检测,配合检测设备,只需几次自动旋转即可实现晶棒完整自动检测工艺;解放人工,降低人力成本,同时工作效率大大提高。 | ||
| 搜索关键词: | 兼容性 检测 辅助 机台 | ||
【主权项】:
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