[实用新型]高兼容性晶棒检测辅助机台有效
| 申请号： | 202022459266.6 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN213780023U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈锋 | 申请（专利权）人： | 江苏指南针自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 215612 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 兼容性 检测 辅助 机台 | ||
【权利要求书】：
1.一种高兼容性晶棒检测辅助机台，其特征在于，包括机架本体，所述机架本体内安装若干顶升气缸和旋转驱动电机，所述顶升气缸的输出端连接顶升托架，所述旋转驱动电机的输出端通过两根传动链条连接两个旋转轴，每个所述旋转轴上安装旋转滚轮，两个旋转滚轮对称设置。
2.根据权利要求1所述的高兼容性晶棒检测辅助机台，其特征在于，所述顶升托架为V型结构。
3.根据权利要求1所述的高兼容性晶棒检测辅助机台，其特征在于，所述旋转轴通过转轴架安装在机架本体上。
4.根据权利要求1所述的高兼容性晶棒检测辅助机台，其特征在于，所述顶升托架底部安装两个导向轴，所述导向轴底部穿过支撑板，所述支撑板固定安装在机架本体内部。
5.根据权利要求4所述的高兼容性晶棒检测辅助机台，其特征在于，所述顶升气缸的顶部固定安装在支撑板上，所述顶升气缸的输出端穿过支撑板连接顶升托架。
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