[实用新型]用于PECVD设备的配套供应系统

摘要

本实用新型提供了一种用于PECVD设备的配套供应系统，用于PECVD设备的配套供应系统包括循环水管路系统，循环水管路系统包括：进水管路装置，进水管路装置与腔体和/或设备组件连通；出水管路装置，出水管路装置与腔体和/或设备组件连通；其中，进水管路装置能够将冷却水输入腔体和/或设备组件以实现对PECVD设备的冷却降温功能。本实用新型的技术方案中，由于进水管路装置能够向PECVD设备的腔体和/或设备组件内输入冷却水，这样能够对PECVD设备进行整体地冷却降温，从而使得PECVD设备中需要降温的腔体和/或设备组件得到良好的降温，避免了PECVD设备超温工作而发生运行故障的问题，进而确保PECVD设备能够正常地工作。