[实用新型]用于PECVD设备的配套供应系统

权利要求书

1.一种用于PECVD设备的配套供应系统，所述PECVD设备包括腔体(102)和设置在所述腔体(102)上的设备组件(104)，其特征在于，所述用于PECVD设备的配套供应系统包括循环水管路系统(10)，所述循环水管路系统(10)包括：

进水管路装置(12)，所述进水管路装置(12)与所述腔体(102)和/或所述设备组件(104)连通；

出水管路装置(14)，所述出水管路装置(14)与所述腔体(102)和/或所述设备组件(104)连通；

其中，所述进水管路装置(12)能够将冷却水输入所述腔体(102)和/或所述设备组件(104)以实现对所述PECVD设备的冷却降温功能。

2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的配套供应系统，其特征在于，所述腔体(102)包括工艺腔(1022)和与所述工艺腔(1022)连通的输送腔(1024)，所述设备组件(104)包括真空泵(1042)和工艺腔处理设备(1044)，所述真空泵(1042)设置在所述工艺腔(1022)和所述工艺腔(1022)上，所述真空泵(1042)通过连通管路与所述工艺腔(1022)和所述工艺腔(1022)连通，所述工艺腔处理设备(1044)设置在所述工艺腔(1022)上，所述进水管路装置(12)和出水管路装置(14)均与所述输送腔(1024)和/或所述工艺腔处理设备(1044)和/或所述真空泵(1042)连通。

3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的配套供应系统，其特征在于，所述进水管路装置(12)包括：

主进水管路(122)；

第一支进水管路(124)，所述第一支进水管路(124)的一端与所述主进水管路(122)连通，所述第一支进水管路(124)的另一端与所述输送腔(1024)连通；

第二支进水管路(126)，所述第二支进水管路(126)的一端与所述主进水管路(122)连通，所述第二支进水管路(126)的另一端与所述工艺腔处理设备(1044)连通；

第三支进水管路(128)，所述第三支进水管路(128)的一端与所述主进水管路(122)连通，所述第三支进水管路(128)的另一端与所述真空泵(1042)连通。

4.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的配套供应系统，其特征在于，所述出水管路装置(14)包括：

主出水管路(142)；

第一支出水管路(144)，所述第一支出水管路(144)的一端与所述主出水管路(142)连通，所述第一支出水管路(144)的另一端与所述输送腔(1024)连通；

第二支出水管路(146)，所述第二支出水管路(146)的一端与所述主出水管路(142)连通，所述第二支出水管路(146)的另一端与所述工艺腔处理设备(1044)连通；

第三支出水管路(148)，所述第三支出水管路(148)的一端与所述主出水管路(142)连通，所述第三支出水管路(148)的另一端与所述真空泵(1042)连通。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于PECVD设备的配套供应系统，其特征在于，所述PECVD设备还包括控制阀组件，所述用于PECVD设备的配套供应系统还包括充气管路系统(20)，所述充气管路系统(20)包括第一充气管路装置(22)和第二充气管路装置(24)，所述第一充气管路装置(22)用于为所述控制阀组件提供驱动气源，所述第二充气管路装置(24)用于将氮气输入到所述设备组件(104)的真空泵(1042)和所述腔体(102)内。

6.根据权利要求5所述的用于PECVD设备的配套供应系统，其特征在于，所述第一充气管路装置(22)包括：

第一充气管路(222)；

压缩空气分气块(224)，所述压缩空气分气块(224)与所述第一充气管路(222)的输出端连接；

压缩空气进气球阀(226)，所述压缩空气进气球阀(226)设置在所述第一充气管路(222)上；

过滤调压阀(227)，所述过滤调压阀(227)设置在所述第一充气管路(222)上，且位于所述压缩空气分气块(224)和所述压缩空气进气球阀(226)之间。