[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构有效
| 申请号: | 202022430051.1 | 申请日: | 2020-10-28 |
| 公开(公告)号: | CN215453460U | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
| 发明(设计)人: | 张俊杰 | 申请(专利权)人: | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号: | H05K5/00 | 分类号: | H05K5/00;H05K7/14;H05K7/20;G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人: | 朱明福 |
| 地址: | 200000 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机主体和控制面板主体,所述光刻机主体的正面设置有安装箱,所述控制面板主体的背面固定连接有插板,所述安装箱的正面开设有通孔,所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽,所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部,所述插板的上表面开设有两个凹槽,所述插槽的内顶壁开设有两个通孔,所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆,两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构,通过设置安装箱、插板、限位块,限位块可以通过拉杆向上拉起,控制面板主体通过插板插入安装箱中,然后通过限位块固定插板在安装箱中的位置。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 直写式 光刻 控制 面板 机构 | ||
【主权项】:
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