[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构

说明书

本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体和控制面板主体，所述光刻机主体的正面设置有安装箱，所述控制面板主体的背面固定连接有插板，所述安装箱的正面开设有通孔，所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽，所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部，所述插板的上表面开设有两个凹槽，所述插槽的内顶壁开设有两个通孔，所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆，两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置安装箱、插板、限位块，限位块可以通过拉杆向上拉起，控制面板主体通过插板插入安装箱中，然后通过限位块固定插板在安装箱中的位置。

技术领域

本实用新型涉及直写式光刻机技术领域，具体为一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。随着时代的飞速发展，电子科技技术也越来越成熟，同时市场上对于各种电路板设备的需求也飞速增加，而在这种供不应求的市场环境下，激光成像设备越来越具备优势。

一般的光刻机都是通过控制面板来控制光刻机内部模块运行，而现有的控制面板通常都是通过支撑杆和螺栓固定在光刻机的表面上，或者是直接嵌入在光刻机的表面，当控制面板通过支撑杆和螺栓固定在光刻机表面时，工作人员会经常碰到控制面板导致控制面板晃动，容易影响光刻机内部模块运行时的精准度，而控制面板嵌入进光刻机表面时，当控制面板内部出现故障时，难以拆除检修，加大工作人员的工作难度。

针对上述问题，我们提出一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体和控制面板主体，所述光刻机主体的正面设置有安装箱，所述安装箱的上表面和下表面均固定连接有螺纹板，所述螺纹板的正面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有紧固螺栓，所述光刻机主体的正面对应两个紧固螺栓的位置开设有与紧固螺栓相适配的螺纹孔，所述安装箱通过紧固螺栓与光刻机主体的正面固定连接，所述控制面板主体的背面固定连接有插板，所述安装箱的正面开设有通孔，所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽，所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部，所述插板的上表面开设有两个凹槽，所述插板的背面固定连接有磁铁条，所述插槽的内后壁固定连接有与磁铁条相适配的吸铁块，所述插槽的上表面设置有连接块，所述连接块的上表面固定连接有贯穿安装箱上表面的拉杆，所述拉杆的上表面固定连接有手提把，所述拉杆的外环面套设有弹簧，所述插槽的内顶壁开设有两个通孔，所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆，两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块，所述限位块与插板上表面开设的凹槽相适配。

优选的，所述控制面板主体的正面设置有显示屏，所述控制面板主体的正面设置有控制按钮，所述控制面板主体的正面设置有若干个控制按键。

优选的，所述控制面板主体的内底壁设置有控制器组件，所述控制面板主体的内后壁固定连接有主板，所述控制面板主体的内顶壁固定连接有散热风扇，所述控制面板主体的内底壁开设有用于主板和控制器组件散热的散热孔。

优选的，所述控制面板主体的上表面固定连接有故障灯，所述控制面板主体的左右两侧均固定连接有用于将控制面板主体从安装箱中抽出的握把。

优选的，所述控制面板主体的两侧均开设有通孔，两个所述通孔的内壁转动连接有转动轴，所述转动轴的外环面固定连接有控制面板主体的防护罩，所述防护罩与控制面板主体通过转动轴转动连接,所述控制面板主体的上表面固定连接有卡块，所述防护罩的顶端固定连接有与卡块相适配的卡扣。

优选的，所述控制面板主体的右侧开设有通孔，所述通孔的内壁固定连接有导线管，所述安装箱的正面和右侧均固定连接有束线器。