[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构有效

专利信息
申请号: 202022430051.1 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN215453460U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 张俊杰 申请(专利权)人: 上海图双精密装备有限公司
主分类号: H05K5/00 分类号: H05K5/00;H05K7/14;H05K7/20;G03F7/20
代理公司: 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 代理人: 朱明福
地址: 200000 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 直写式 光刻 控制 面板 机构
【权利要求书】:

1.一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机主体(1)和控制面板主体(2),其特征在于:所述光刻机主体(1)的正面设置有安装箱(3),所述安装箱(3)的上表面和下表面均固定连接有螺纹板,所述螺纹板的正面开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内壁螺纹连接有紧固螺栓(4),所述光刻机主体(1)的正面对应两个紧固螺栓(4)的位置开设有与紧固螺栓(4)相适配的螺纹孔,所述安装箱(3)通过紧固螺栓(4)与光刻机主体(1)的正面固定连接,所述控制面板主体(2)的背面固定连接有插板(5),所述安装箱(3)的正面开设有通孔,所述安装箱(3)的内部开设有与插板(5)相适配的插槽,所述插板(5)穿过通孔并延伸至插槽的内部,所述插板(5)的上表面开设有两个凹槽,所述插板(5)的背面固定连接有磁铁条(6),所述插槽的内后壁固定连接有与磁铁条(6)相适配的吸铁块(7),所述插槽的上表面设置有连接块(8),所述连接块(8)的上表面固定连接有贯穿安装箱(3)上表面的拉杆(9),所述拉杆(9)的上表面固定连接有手提把,所述拉杆(9)的外环面套设有弹簧,所述插槽的内顶壁开设有两个通孔,所述连接块(8)的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆(10),两个所述固定杆(10)的下表面均固定连接有限位块(11),所述限位块(11)与插板(5)上表面开设的凹槽相适配。

2.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述控制面板主体(2)的正面设置有显示屏(12),所述控制面板主体(2)的正面设置有控制按钮(13),所述控制面板主体(2)的正面设置有若干个控制按键。

3.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述控制面板主体(2)的内底壁设置有控制器组件(14),所述控制面板主体(2)的内后壁固定连接有主板(15),所述控制面板主体(2)的内顶壁固定连接有散热风扇(16),所述控制面板主体(2)的内底壁开设有用于主板(15)和控制器组件(14)散热的散热孔(17)。

4.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述控制面板主体(2)的上表面固定连接有故障灯(18),所述控制面板主体(2)的左右两侧均固定连接有用于将控制面板主体(2)从安装箱(3)中抽出的握把(19)。

5.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述控制面板主体(2)的两侧均开设有通孔,两个所述通孔的内壁转动连接有转动轴,所述转动轴的外环面固定连接有控制面板主体(2)的防护罩(20),所述防护罩(20)与控制面板主体(2)通过转动轴转动连接,所述控制面板主体(2)的上表面固定连接有卡块,所述防护罩(20)的顶端固定连接有与卡块相适配的卡扣。

6.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述控制面板主体(2)的右侧开设有通孔,所述通孔的内壁固定连接有导线管(21),所述安装箱(3)的正面和右侧均固定连接有束线器。

7.根据权利要求6所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述束线器包括束线板(22),所述束线板(22)与安装箱(3)的正面和侧面以及光刻机主体(1)的右侧固定连接,两个所述束线板(22)的上表面和下表面均开设有螺纹孔,两个所述螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓(23)。

8.根据权利要求4所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,其特征在于:所述故障灯(18)与控制器组件(14)电性连接,显示屏(12)、控制按钮(13)、控制按键、散热风扇(16)、控制器组件(14)和主板(15)均与外部电源电性连接。

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