[实用新型]MEMS芯片有效
| 申请号： | 202022368816.3 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN213403502U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勋;周宗磷;卓彦萱 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 张娓娓;袁文婷 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS芯片包括基底、设置在基底上的振膜和背极，其中，振膜包括两个导电区域，分别为振膜第一导电区域和振膜第二导电区域，并且振膜第一导电区域和振膜第二导电区域之间电性不导通；背极包括至少两个导电区域，并且背极的导电区域之间彼此电性不导通；振膜的导电区域与背极的导电区域之间电性导通。利用本实用新型，通过振膜、背极的不同区域的电性连接以达到调整MEMS芯片性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 | ||
【主权项】：
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