[实用新型]磁控溅射设备的可调式挡板有效
| 申请号： | 202022361509.2 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN214168116U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 唐云俊;王昱翔;周虹玲;周东修 | 申请（专利权）人： | 浙江艾微普科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射设备的可调式挡板，包括基底，所述基底上开设有通透上下表面的溅射口，所述溅射口内设置有移动挡片，移动挡片与基底水平滑动连接，移动挡片与基底之间设置有固定件，本实用新型可以现场根据实际溅射状况进行调整移动挡片的位置，以随时调节薄膜沉积均匀性，大幅减少新挡板设计、加工时间，提高工艺研发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 设备 调式 挡板 | ||
【主权项】：
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