[实用新型]磁控溅射设备的可调式挡板

权利要求书

1.一种磁控溅射设备的可调式挡板，包括基底，其特征在于：所述基底上开设有通透上下表面的溅射口，所述溅射口内设置有移动挡片，移动挡片与基底水平滑动连接，移动挡片与基底之间设置有固定件。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射设备的可调试挡板，其特征在于：所述基底包括支撑围壁和支撑横梁，所述支撑围壁包括近端和远端，所述支撑横梁贯穿溅射口连接近端和远端，所述移动挡片与支撑横梁水平滑动连接。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射设备的可调式挡板，其特征在于：所述支撑横梁呈条状，所述移动挡片上开设有与支撑横梁相配合的移动凹槽，支撑横梁伸入移动凹槽内。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射设备的可调式挡板，其特征在于：所述支撑围壁呈环状，所述移动挡片呈椭圆状，移动挡片的长轴与支撑横梁长度方向相同。

5.根据权利要求2所述的磁控溅射设备的可调式挡板，其特征在于：所述支撑横梁的中部设置有固定板，所述移动挡片设置有两个，移动挡片与固定板部分重叠，两个移动挡片分别靠近支撑围壁的近端和远端。

6.根据权利要求2-5中任意一项所述的磁控溅射设备的可调式挡板，其特征在于：所述固定件包括螺钉，所述移动挡片上开设有条形槽，条形槽的长度方向与支撑横梁长度方向相同，所述支撑横梁上开设螺纹孔，螺钉穿过条形槽与螺纹孔配合。