[实用新型]一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置有效
| 申请号： | 202022333321.7 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN212713263U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 吴龙波;杨金鑫;巫维捷;柏文俊;胡景 | 申请（专利权）人： | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李小叶 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置，包括烧结炉芯管、沉积靶棒和保护托盘；所述沉积靶棒上沉积有松散体；沉积有松散体的沉积靶棒安装于所述烧结炉芯管中；所述沉积靶棒的尾端设有安装孔，该安装孔上横向穿设有一陶瓷销子；所述保护托盘为敞口结构，其具有盘底和设置于盘底的边部上的敞口盘罩；所述保护托盘的盘底的中部具有中心孔，保护托盘利用其中心孔套装于沉积靶棒上，且保护托盘支撑于所述陶瓷销子上；所述保护托盘的敞口盘罩的直径大于松散体的直径。本实用新型可以避免出现砸伤炉芯管的现象，可以有效的保护炉芯管，减少安全隐患，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ovd 沉积 松散 烧结 保护装置 | ||
【主权项】：
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