[实用新型]一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置有效
申请号: | 202022333321.7 | 申请日: | 2020-10-19 |
公开(公告)号: | CN212713263U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 吴龙波;杨金鑫;巫维捷;柏文俊;胡景 | 申请(专利权)人: | 江苏亨通光导新材料有限公司;江苏亨通光电股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/014 | 分类号: | C03B37/014 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 李小叶 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ovd 沉积 松散 烧结 保护装置 | ||
本实用新型公开了一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置,包括烧结炉芯管、沉积靶棒和保护托盘;所述沉积靶棒上沉积有松散体;沉积有松散体的沉积靶棒安装于所述烧结炉芯管中;所述沉积靶棒的尾端设有安装孔,该安装孔上横向穿设有一陶瓷销子;所述保护托盘为敞口结构,其具有盘底和设置于盘底的边部上的敞口盘罩;所述保护托盘的盘底的中部具有中心孔,保护托盘利用其中心孔套装于沉积靶棒上,且保护托盘支撑于所述陶瓷销子上;所述保护托盘的敞口盘罩的直径大于松散体的直径。本实用新型可以避免出现砸伤炉芯管的现象,可以有效的保护炉芯管,减少安全隐患,提高生产效率,降低生产成本。
技术领域
本实用新型涉及光纤预制棒制造领域,特别涉及一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置。
背景技术
目前用于制备光纤预制棒松散体的方法主要有三种:改进的化学气相沉积法(MCVD)、外部气相沉积法(OVD)和轴向气相沉积法(VAD)。其中的外部气相沉积法(OVD)是采用金属灯产生的协流火焰进行火焰水解和烧结,将SiO2沉积在预制棒上;一般,如果烧结前的沉积松散体的密度较大,在烧结工序中,沉积松散体不易出现开裂、脱落现象;但是,对于掺氟的沉积松散体,由于其密度不宜过大,在烧结工序中容易出现开裂、脱落现象;目前,松散体在脱水/玻璃化阶段如果出现开裂、脱落的情况,则很难清理,且脱落的松散体容易砸伤炉芯管,造成气体泄漏;而如果更换炉芯管,则不仅增加工作量,降低生产效率,也浪费了资源;因此,有必要开发一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的在于提供一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置,可以避免出现砸伤炉芯管的现象,可以有效的保护炉芯管,减少安全隐患,提高生产效率,降低生产成本。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置,包括烧结炉芯管、沉积靶棒和保护托盘;所述沉积靶棒上沉积有松散体;沉积有松散体的沉积靶棒安装于所述烧结炉芯管中;所述沉积靶棒的尾端设有安装孔,该安装孔上横向穿设有一陶瓷销子;所述保护托盘为敞口结构,其具有盘底和设置于盘底的边部上的敞口盘罩;所述保护托盘的盘底的中部具有中心孔,保护托盘利用其中心孔套装于沉积靶棒上,且保护托盘支撑于所述陶瓷销子上;所述保护托盘的敞口盘罩的直径大于松散体的直径。
作为本实用新型上述技术方案的进一步改进,所述沉积靶棒是由上靶棒和下靶棒组成,且上靶棒和下靶棒是通过等离子焊接方式焊接为一体,其中的下靶棒为待报废芯棒。
作为本实用新型上述技术方案的更进一步改进,所述沉积靶棒是通过悬挂棒安装于烧结炉芯管中。
作为本实用新型的一个优选技术方案,所述保护托盘为敞口一体结构,敞口盘罩与盘底为一体结构,且所述敞口盘罩为弧形面结构;进一步的,该保护托盘的盘底厚度为13~17mm,保护托盘的盘深为47~53mm。
作为本实用新型的另一个优选技术方案,所述保护托盘为敞口分体结构,保护托盘的盘底的边部设有环形凹槽,敞口盘罩设置于该环形凹槽中;进一步的,该保护托盘的盘底厚度为13~17mm,环形凹槽的深度为8~10mm,敞口盘罩的高度为51~59mm,敞口盘罩的厚度为3~5mm。
进一步的,所述陶瓷销子的长度为95~102mm,直径为9~11mm。
更进一步的,沉积靶棒上的安装孔的位置与沉积靶棒的最末端的距离为30~40mm。
本实用新型的有益效果:
该保护装置可以在松散体烧结过程中,对烧结炉芯管进行一定的保护;具体的,当松散体出现脱落或断裂时,沉积靶棒尾部上的保护托盘可以接住脱落的松散体粉末,防止松散体粉末砸伤烧结炉芯管,对烧结炉芯管进行有效的保护,减少安全隐患,大大减少炉芯管更换次数,延长烧结炉芯管使用寿命,提高生产效率,降低生产成本。
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