[实用新型]一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管有效
| 申请号： | 202022313523.5 | 申请日： | 2020-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN213596463U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 英浩 | 申请（专利权）人： | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，包括安装座、石英管、弧形盖板、连接杆和液压推杆，所述安装座之间插设安装有石英管，所述石英管两侧分别设有对应的弧形盖板，所述弧形盖板内侧包覆有高温玻璃布，所述弧形盖板外侧顶部和顶部均通过螺栓固定安装有弧度安装板。通过高温玻璃布的使用，可有效降低真空离子发生器工作瞬时启动的高温对石英管的伤害，能够避免石英管爆裂，增长其使用寿命，减少机台维护频率，具有较高的实用性，且人员可在不接触石英管的情况下，对弧形盖板进行推送盖设，完成防护作业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶体生长 内外 石英管 | ||
【主权项】：
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