[实用新型]一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管有效
| 申请号： | 202022313523.5 | 申请日： | 2020-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN213596463U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 英浩 | 申请（专利权）人： | 连云港保康石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 222313 江苏省连云港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶体生长 内外 石英管 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，包括安装座(1)、石英管(2)、弧形盖板(3)、连接杆(6)和液压推杆(7)，其特征在于，所述安装座(1)之间插设安装有石英管(2)，所述石英管(2)两侧分别设有对应的弧形盖板(3)，所述弧形盖板(3)内侧包覆有高温玻璃布(4)，所述弧形盖板(3)外侧顶部和顶部均通过螺栓固定安装有弧度安装板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，其特征在于：所述弧度安装板(5)一侧均焊设有连接杆(6)，所述连接杆(6)一侧设有液压推杆(7)，所述液压推杆(7)的输出端与连接杆(6)通过螺栓安装连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，其特征在于：所述弧形盖板(3)通过高温玻璃布(4)分别对石英管(2)两侧盖设连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，其特征在于：所述弧形盖板(3)为石英材料制作。
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