[实用新型]一种用于离子注入机的检测装置

摘要

本实用新型涉及离子注入机技术领域，尤其是一种用于离子注入机的检测装置，所述外筒的上方固定插接有连接圈，所述外筒的下方固定焊接有靶室，所述滑动口的内部通过滑动结构安装有滑动仓，所述外筒的一侧通过转动结构安装有两个盖板，所述滑动口的内部安装有限位结构，所述滑动仓的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽，所述限位结构位于凹槽的内部，所述外筒的内部对称固定焊机有安装环，所述安装环的相对侧插接有移动圈，所述支撑圈的上方固定插接有法拉第杯。此装置设计合理，通过滑动仓和盖板的设置，从而使得在需要检测离子时能够方便的更换滑动仓，并且能够方便法拉第杯的更换，方便了人们使用。